公告正文

按原文分段

一、项目基本情况

原公告的采购项目编号： 采购计划-[2026]-14971号-1 原公告的采购项目名称： 高质量发展-学科建设-高亮度高速率半导体激光工艺技术提升项目（进口） 首次公告日期： 2026年08月21日

二、更正信息

更正事项： 更正采购文件 更正内容： 序号 更正项 更正前内容 更正后内容 1 原招标文件第31页，采购需求“场发射电子束曝光机”详细配置。 高分辨场发射电子束曝光机，集成扫描电镜成像与电子束直写曝光功能。其电子光学系统采用肖特基场发射电子枪，二次电子分辨率达到0.7nm@15kV和≤1.1nm@1kV，放大倍率10~1,000,000倍，加速电压在0.02~30kV范围内连续可调且无需模式切换，束流稳定性优于0.2%/h，最大束流不小于20nA，物镜为复合物镜带静电透镜，无磁场泄露设计，可处理磁性材料。能谱仪有效面积≥60mm²，Mn Ka保证优于129eV（@计数率100,000cps）；以上探测器能量分辨率保证符合ISO 15632:2012标准；元素分析范围：Be4～Cf98。电子束曝光模块基于FPGA技术，扫描频率≥20MHz，最小停留时间≤50ns，写场寻址分辨率达18bit×18bit，集成GDSII编辑器支持复杂图形分层设计，结合高分辨电子光学性能，可实现优于30nm的高精度曝光线宽。 1.其电子光学系统采用肖特基场发射电子枪，二次电子分辨率达到0.7nm@15kV和≤1.1nm@1kV（非样品台减速模式下）；（提供非样品台加速下的分辨率测试结果） 2.放大倍率：10~1,000,000倍，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准；倍数切换无需模式更换且连续可调，不得含有光学放大； 3.低电压配备电子束减速模式：镜筒内减速或样品台减速； 4.加速电压在0.02~30kV范围内连续可调且无需模式切换（非样品台减速模式下），从低电压到高电压无需模式切换； 5.镜筒内加减速范围：20V-20kV；加速电压为20kV时仍可保持镜筒内减加速模式开启，此时仍可使用镜筒内探头成二次电子像； 6.电子束流：最大束流不小于20nA；在成像过程中，保持束流单一的变量，可提供不少于28种可变束流的选择； 7.电子枪类型：肖特基场发射电子枪，束流稳定性优于0.2%/h；（需提供连续测量的数据图） 8.物镜系统：物镜为复合物镜带静电透镜，无磁场泄露设计，可处理磁性材料,可对铁磁性和易磁性材料进行2mm内短距离下，进行底片倍率高于200,000倍的高分辨成像图片； 9.物镜光阑孔数量＞6孔，光阑具备自动坐标记忆功能，可通过软件自动控制光阑孔径更换，无需手动调节；（需要提供灯丝像确认光阑孔数量软件截图） 10.样品舱室采用抽屉式拉门设计，样品舱室内部尺寸：左右宽度≥360mm，前后进深≥360mm，高度≥270mm； 11.可直接放入的样品最大样品直径≥225mm（样品台XY轴可全幅移动条件下）； 12. 可容纳样品高度尺寸≥100mm； 13.配备五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：X轴方向≥125mm；（提供移动软件截图） 14.配备五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：Y轴方向≥125mm；（提供移动软件截图） 15.样品台Z方向最大移动范围：Z轴方向≥100mm；（提供移动软件截图） 16.样品台可双向倾斜，倾斜范围≥-20°至+90°，可360°连续旋转；（提供软件截图） 17.马达台最大样品承重≥5kg； 18.单张图片最大存储分辨率≥32k×24k，保证可以大视野高分辨快速成像； 19.预留光电关联接口：可以通过硬件和软件的扩展，进行同品牌电子显微镜和光学显微镜的无缝联用，实现样品深度观测功能，升级光电关联之后在光学显微镜下观察的感兴趣区域，可以通过自动重定位功能在电镜中直接找到此感兴趣区域，从而获得更高的分辨率的电镜图像；可一次性同时导入大量的不同光镜视野区域的照片，不需要任何比对，点击光镜图片，可在电子显微镜下自动到对应的光镜观察的区域。（提供光电连用使用过程图） 20.样品舱室正前方需要预留接口，实现原位功能的扩展。（提供实物截图） 21.能谱仪有效窗口面积≥60mm²；高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能； 22.能量分辨率：Mn Ka保证优于129eV（@计数率100,000cps）；以上探测器能量分辨率保证符合ISO 15632:2012标准； 23.元素分析范围：Be4～Cf98； 24.电子束曝光模块基于FPGA技术，扫描频率≥20MHz，最小停留时间≤50ns，写场寻址分辨率达18bit×18bit，集成GDSII编辑器支持复杂图形分层设计，结合高分辨电子光学性能，可实现优于30nm的高精度曝光线宽。 2 原招标文件第31页，采购需求“任意波形信号发生器”详细配置。 任意波形信号发生器满足高频带宽需求，带宽达到 25 GHz；采样率达到 65 GSa/s；垂直分辨率: 8bit；存储深度：2GSa；信号上升 /下降时间(20%到80%): < 18.2ps；固有随机抖动 :< 205fs；相位噪声（f=20GHz,偏移1MHz）: < -139dBC/H。 1.最大采样率: 65 GSa/s 2.测试通道：1个,可支持升级到16个通道 3.信号模拟带宽: 大于等于 25GHz 4.垂直分辨率: 8bit 5.存储深度：标配2GSa,支持升级到 16GSa 波形存储 6.最大信号输出幅度: 1Vpp(单端信号) ；2Vpp (差分信号) 7.信号上升 /下降时间(20%到80%): < 18ps 8.固有随机抖动 :< 200fs 9.有效频率切换时间: <= 38ps 10.幅度分辨率：400μV 11.二次谐波失真：-45 dBc,频率f<3GHz -35 dBc,3GHz <频率f< 8ghz -30 dBc,频率f>8 GHz 12.相位噪声（f=20GHz,偏移1MHz）:< -139dBC/Hz 13.支持先进的 3 级排序信号产生 14.支持实时加载新的波形，无需中断之前波形的回放 15.支持内置频率和相位响应校准以确保纯净的输出信号 16.支持硬件16分接 FIR 滤波器用于频率响应补偿。 更正日期： 2026年08月25日

三、其他补充事宜

招标文件其他内容不变。

四、对本次公告提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息 名 称： 长春理工大学 地 址： 长春市卫星路7089号长春理工大学国有资产管理处 联系方式： 0431-85882421 2.采购代理机构信息 名 称： 吉林省中维项目管理咨询有限公司 地 址： 长春市南关区生态大街华荣泰时代8栋21楼 联系方式： 18043392988 3.项目联系方式 项目联系人： 周清兴、袁桂玲、孙宗良 电 话： 18043392988 初审： 孙宗良 复审： 李乔 终审： 邓颖