公告正文

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一、项目基本情况

原公告的采购项目编号：HR-LZ2026080 原公告的采购项目名称：双球差校正电镜和透射电子显微镜和冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜系统采购项目 首次公告日期：2026年08月18日

二、更正信息

更正事项：采购文件 更正内容： 1）第一章 《投标邀请》

四、提交投标文件

截止时间、开标时间和地点 投标截止时间、开标时间：2026年9月10日9时30分（北京时间）。 地点：天恒招标有限公司会议室（北京市东城区东四十条甲22号南新仓商务大厦B座922）。 2）第四章 《评标程序、评标方法和评标标准》

二、评标标准

技术部分 （63分 技术指标响应 （45分） 投标人需对第五章采购需求中“5技术要求”逐条进行应答，根据各投标人响应情况进行评分。 未标注“*”的一般性条款（共114项），每有一项负偏离扣0.4分，本项最低得0分。。 正偏离不加分，全部满足招标文件要求的得45分， 注：标注*的为实质性响应指标，每有一项实质性响应指标不满足，其投标无效。 供货及安 装调试方案 （8分） 根据投标人提供的供货及安装调试方案进行评价： 供货及安装调试方案内容完整全面、合理细致，符合采购需求中的要求，可行性高，针对性强，得8分； 供货及安装调试方案内容较完整全面，比较符合采购需求中的要求，可行性较高，针对性较强，存在轻微缺项、漏项，得6分； 供货及安装调试方案内容一般、可行性和针对性一般，存在一定的缺项、漏项，得4分； 供货及安装调试方案内容简单，可行性和针对性不强，存在明显缺项、漏项，得2分； 未提供项目供货及安装调试方案，得0分。 3 ） 第五章《采购需求》 3.供货范围 3.1.3 冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜系统 序号 货物名称 数量 单位 备注 1 冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜 1 套 1.1 冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜主机 1 套 1.2 全自动纳米机械手 1 套 1.3 制样模块：铂、碳沉积源 2 套 各一套 2 EBSD采集模块 1 套 2.1 EDS能谱采集模块 1 套 2.2 TOF-SIMS模块 1 套 2.3 三维重构数据采集、分析软件 2 套 2.4 自动化样品制备软件 1 套 2.5 图像拼接软件 1 套 2.6 操作桌台 1 套 2.7 空压模块 1 台 2.8 冷却循环水模块 1 台 3 冷冻传输模块 1 套 技术要求 5.1 双球差校正电镜 要求 双球差校正电镜 序号 项目 采购方要求值 应答方保证值 电子枪类型 高亮高相干性电子枪，束流、信号、长期稳定性不低于冷场发射电子枪 *电子枪亮度 ≥3.3*10 7 A/m 2 /sr/V TEM 线分辨率 ≤50 pm@300kV *STEM分辨率 ≤53 pm@300kV *能量分辨率 ≤0.35 eV 加速电压 40-300 kV 加速电压切换稳定时间 ≤15 min 高压合轴 60/80、200、300 kV 束斑漂移 ≤0.5 nm/min *聚光镜像差校正器 校正至A5阶 用于提高HR-STEM分辨率 *物镜像差校正器 校正至A5阶 用于提高HR-STEM分辨率 STEM高分辨自动优化软件 自动修正残余像差 物镜 采用恒功率透镜设计或Enoaqua循环水方式，实现透镜控温精度、有效束流。 光阑系统 物镜光阑孔数目 ≥8个 选区光阑孔数目 ≥4个 挡针 配备全自动挡针 洛伦兹模式 TEM/STEM两个模式 物镜极靴间距 适配于目前商用电镜样品杆 STEM探测器附加探头功能 ≥16分割（不低于SAAF探头） *STEM探测器成像模式 HAADF、BF、ABF、DF、ADF STEM模式图像像素 最大图像分辨率≥4096×4096 像素（1600 万像素），支持 2048×2048、1024×1024 等多档像素可选 双倾样品杆倾转角度 ≥± 30°(a) / ± 29° (b) 三维重构样品杆最大倾转角度 ≥±70° 样品移动范围 ≥X/Y：±1; Z: ±0.200 mm 样品漂移速率 ≤0.5 nm/min 一体化快速 CMOS相机 性能不低于Gatan oneview。 相机读取模式 具备原位模式 原位实验记录 支持20s缓存记忆功能 能谱分析模块 能谱仪探测器数量 ≥2个 能谱仪探测器晶体面积 ≥600 mm 2 （不低于JED-2300T 158mm 2 双探头） ） 能谱图像分辨率 4k x 4k *能谱仪探测器能量分辨率 ≤136 eV (Mn-Kα) 能谱仪探测器最大输出计数率 ≥ 600 kcps 能量损失谱模块 *能量过滤器电子能量损失谱 功能包括能量过滤透射电镜成像（Energy Filtered TEM, EFTEM）和电子能量损失谱（EELS）分析。通过能量过滤，提高成像质量，尤其厚试样和断层成像（Tomography）的图像质量，分析材料的化学价态、电子结构、元素组成及其面分布等。 能量过滤器电子能量损失谱型号 分辨率优于0.025 eV（性能不低于Gantan 1069 K3）； 能量过滤器电子能量损失谱采谱速度 8000 谱/秒 *超快直接电子探测相机 包含1套 4D-STEM成像系统 Arina 等相机系统 Free Lens Control功能 样品任意高度下用户可以自由控制各级聚光镜电流，实现目标会聚角主动调节 图像采集模块 连续自动化连续欠焦，欠焦变化时间≤0.1s 电镜样品杆 单、双倾样品杆（各1支） 电子束超快定量控制系统 对STEM及TEM模式进行自动化电子束脉冲控制、定量调节、超快电子束闸时间分辨率≤10 ns（不低于IDES） 原位实验保护镜筒污染 具有镜筒内置自动烘烤功能，可全范围去除镜筒污染 具有冷井烘烤(ACD/CryoCircle)功能 具有编程设置Beam Shower清洗功能 STEM事件驱动模组 支持 自动带轴倾转软件 支持 Autoscript数据采集和分析模块 可以通过Python语言编程实现透射自动功能:如电子束开关、探测器进出、自动聚焦/明暗对比度、放大倍率改变、样品移动以及自动TEM/STEM图像获取、存储等等。 最新一代电镜软件及硬件控制系统；（velox及同等以上）可实现快速操作，包括光学模式设置、探测器选择以及数据采集和分析等等，可以同时快速获取多达 4 个 STEM 信号 2套图像显示终端，能流畅地实现常用功能, 包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。能非常便捷的将数据、软件各模块在两台液晶显示器之间显示 提供TEM和STEM三维重构全套相关软件及离线数据处理软件 提供EDS采集、分析相关软件及离线数据处理软件 *杆泵 干泵最大抽速3 m 3 /h，极限真空度0.1 mbar 离子清洗模块 等离子清洗仪，功率 0-150 W 连续可调 空压模块 配有压力计、控制阀、压力开关、进气阀和安全阀。 功耗≤0.34 kW 数据储存工作站 机柜：[2盘位1个，铁威马、威联通、华硕或同等优质品牌] 硬盘≥20T*12 冷却循环水模块 空气增强型冷却器 5.2 透射电子显微镜 要求 序号 项目 采购方要求值 应答方保证值 *电子枪类型 场发射电子枪 *电子枪亮度 ≥4.0×10 8 A/cm 2 /sr @ 200 kV 束斑漂移 ≤1 nm/min *加速电压 20-200 kV *高压合轴 80、200 kV 加速电压稳定度 1.0 ppm/10 min *TEM信息分辨率 ≤0.12 nm 最大衍射角 ≥±12 ° 会聚束电子衍射（CBED）最大会聚角 ≥100 mrad 衍射模式相机长度范围 14-5700 mm 物镜极靴间距 极靴间距≥5.4 mm，充分支持三维重构及原位动态分析 STEM分辨率 ≤0.14 mm STEM探测器数量 ≥3个 特定功能探测器 STEM分割探测器或SEI 二次电子探测器 *STEM探测器成像模式 HAADF、BF、ADF、ABF STEM探测器附加探头功能 ≥16分割（不低于DPC/SAAF探头） STEM模式图像像素 最大图像分辨率≥4096×4096 像素（1600 万像素），支持 2048×2048、1024×1024 等多档像素可选 双倾样品杆最大样品倾斜角度 X 向 /α 侧倾≥±30°，Y 向 /β 倾转≥±29°。 *样品移动范围 X,Y≥2mm；Z≥0.75 mm 样品台最小移动步长 ≤36 nm 样品漂移（使用标准样品杆） ≤1.0 nm/min 高分辨CMOS相机像素 有效像素≥4096×4096（1600 万像素），像素尺寸 12-14 μm；支持 4096×4096、2048×2048、1024×1024 、512×512多档像素可选 相机动态范围 ≥16 Bit 相机读取模式 采集速度40 fps @4k x 4k 真空系统 采用完全无油的机械泵、涡轮分子泵与离子泵构成的真空系统，以防止真空系统造成的样品污染。 电镜操作和控制 配备全自动合轴模块，可用于日常合轴与维护性系统合轴的全自动优化，以保证电子光学系统维持良好的状态，从而稳定获取高质量数据 自动带轴倾转软件 1套 能谱分析模块 能谱仪探测器数量 ≥4个 能谱探测 元素分析范围B-U，能量分辨率≤136 eV *能谱仪探测器晶体面积 ≥100 mm 2 能谱仪峰背比 ≥4000 最大输出计数率 ≥600 Kcps 图像采集模块 可进行图像定量的三维重构软件 通讯接口 GPIB通信接口，支持以太网（TCP/IP）、OPC UA或REST API等现代通信协议，便于接入实验室信息管理系统 空压模块 配有压力计、控制阀、压力开关、进气阀和安全阀。 功耗≤0.34 kW 冷却循环水模块 冷却能力：在20°C的环境空气温度下为3.3 kW 温度稳定性：±0.05°C 水泵容量：13.6 l/min @4 bar 5.3 冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜系统 要求 冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜系统 序号 项目 采购方要求值 应答人 保证值 离子束及辅助气体注入系统 离子源种类 液态Ga离子源或Xe离子源 离子源寿命 ≥1000小时 分辨率 2.5nm @ 30 kV (采用选边法测量) 离子束加速电压 0.5 kV-30 kV 离子束流强度 1.0 pA-100 nA 电子束系统 *电子枪类型 高稳定性肖特基（ZrO/W）场发射灯丝/超高分辨浸没式复合电子枪 分辨率 0.6 nm@15 kV;1.0 nm@ 1kV:0.9 nm@1kV (电子束减速模式) *电子束加速电压 0.35 kV-30 kV（连续可调） 电子束流强度 0.9 pA-170 nA 离子束电子束交叉点工作距 离 距离极靴 4 mm 光阑系统 全自动光阑系统，可加热自清洁 样品室 *样品室尺寸 样品室有效内径≥320 mm（扣除接口占用后） 样品台 五轴马达驱动样品台； X、Y 方向移动范围≥110mm；Z方向移动范围65 mm；倾转范围-15°至+90°；旋转：360° 最大样品高度 样品台到束交叉点85 mm *附件/探测器接口 ≥18个 真空系统 完全无油真空系统 机械干泵、磁悬浮涡轮分子泵和离子泵等构成 抽气时间 ＜5分钟 气体注入系统 *2支及以上气体注入系统 Pt，C，W 沉积模块 *2种以上 Pt，C，W 探测器 *透镜内探测器 具有SE/BSE模式 *样品室红外 CCD 相机 具备样品室红外CCD相机 *集成式等离子清洗仪 具备等离子清洗仪，软件全自动控制 冷却水系统 冷却水系统 具备空压机和冷却循环水系统 自动化加工功能 纳米机械手 配有一体化的纳米机械手，电镜操作与纳米机械手协同操作，漂移精度≤100 nm/min； 纳米机械手马达驱动 马达驱动360度无限制旋转机械手，可通过冷台系统实现低温提取样品 自动化样品制备软件 可实现自动粗切、自动最终减薄和抛光、引导式样品提取与转移 软件 专业三维重构软件 可实现对切片图像的自动对中，支持统计与分析，支持多模态数据，可融合来自不同探测器的图像数据 冷冻系统 冷冻样品台旋转 可以360°旋转 冷冻样品台最低温度 ≤-170℃ 冷冻样品台冷却时间 从常温至工作温度的冷却时间≤20分钟 能谱EDS *晶体面积 ≥60 mm 2 元素测试范围 B5～Cf 98 能量分辨率 在100,000CPS条件下Mn-Ka保证优于129eV，轻元素分辨率C-K/57eV, F-K/67eV 最大输出计数率 ≥1,500,000cps EBSD 芯片/探测技术 直接电子探测 离线条带标定和解析速度 最高20,000点每秒 离线再分析速度 ≥60,000点每秒 TOF-SIMS 质谱分辨率 质谱分辨率≥800（m/z=29） 质量数范围 质量数范围1-2500 *FIB-TOF-SIMS联用 空间分辨率≤50nm；纵向图像分辨率优于20nm，同时能对H开始的轻元素进行检出分析 冷冻传输系统 样品台 360°度旋转的冷冻样品台： 可实现360°连续旋转，-4—70°倾转；保证开展复杂应用或面对复杂样品的适用性； 温度 工作温度室温至-170°C范围内任意可调可控，实际温度误差可稳定控制在1°C以内。 抽气系统 涡轮分子泵抽气系统 接口 通讯接口 GPIB通信接口，支持以太网（TCP/IP）、OPC UA或REST API等现代通信协议，便于接入实验室信息管理系统 附件/探测器接口 附件/探测器接口≥20个（含预留接口） 数据处理系统 控制终端 可实现 4K 图像滤波处理 3.5-6 秒每帧、晶粒特征识别 7-12 秒每帧，EELS 谱成像处理 2.5-4 分钟每组，EDS 元素 Mapping 生成 5-9 分钟每张，60 张 4K 切片三维重构耗时 2-3.5 小时，高效完成冷冻 FIB-SEM 各类图像解析、成分分析与三维重构工作。 显示终端 配备双屏显示器，单屏尺寸≥24英寸，分辨率≥3840×2160 稳定系统 减震 集成式主动减震 Ups电源 配备≥6 kVA不间断电源UPS一台 冷却循环模块 循环冷水机 循环式冷水机可提供5至40°C之间的恒定连续冷却，温度稳定性高达0.1°C，采用风冷方式。 制冷能力：最高可达1100/1300瓦 空压模块 空压机 操作气动阀门和显微镜调平系统。 6.安全要求 应答方应严格落实国家安全生产相关规定，所供设备在设计选型、制造供货、安装调试、操作使用中应满足仪器安全、电气安全以及运行安全要求。设备应具备可靠接地、过载保护、漏电保护、异常报警、故障提示等功能。应答方应提供安全操作规程、维护手册、风险提示、应急处理方法及相关安全合规文件，并对采购方人员开展安全操作和应急处置培训。 更正为： 1）第一章 《投标邀请》

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

投标截止时间、开标时间：2026年9月17日9时30分（北京时间）。 地点：天恒招标有限公司会议室（北京市东城区东四十条甲22号南新仓商务大厦B座922）。 2）第四章《评标程序、评标方法和评标标准》

二、评标标准

技术部分 （63分 技术指标响应 （48分） 投标人需对第五章采购需求中“5技术要求”逐条进行应答，根据各投标人响应情况进行评分。 标注“#”的重要条款（共16项），每有一项负偏离扣2分，本项最低得0分。 未标注“*”和“#”的一般性条款（共80项），每有一项负偏离扣0.2分，本项最低得0分。 正偏离不加分，全部满足招标文件要求的得48分， 注：标注*的为实质性响应指标，每有一项实质性响应指标不满足，其投标无效。 供货及安 装调试方案 （5分） 根据投标人提供的供货及安装调试方案进行评价： 供货及安装调试方案内容完整全面、合理细致，符合采购需求中的要求，可行性高，针对性强，得5分； 供货及安装调试方案内容较完整全面，比较符合采购需求中的要求，可行性较高，针对性较强，存在轻微缺项、漏项，得3分； 供货及安装调试方案内容一般、可行性和针对性一般，存在一定的缺项、漏项，得2分； 供货及安装调试方案内容简单，可行性和针对性不强，存在明显缺项、漏项，得1分； 未提供项目供货及安装调试方案，得0分。 3）第五章《采购需求》 3.供货范围 3.1.3 冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜系统 序号 货物名称 数量 单位 备注 1 冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜 1 套 1.1 冷冻聚焦离子束切割-扫描电镜主机 1 套 1.2 全自动纳米机械手 1 套 1.3 制样模块：铂、碳沉积源 2 套 各一套 2 EBSD采集模块 1 套 2.1 EDS能谱采集模块 1 套 2.2 TOF-SIMS模块 1 套 2.3 三维重构数据采集、分析软件 2 套 各一套 2.4 自动化样品制备软件 1 套 2.5 图像拼接软件 1 套 2.6 操作桌台 1 套 2.7 空压模块 1 台 2.8 冷却循环水模块 1 台 3 冷冻传输模块 1 套 5技术要求 5.1 双球差校正电镜 要求 双球差校正电镜 序号 项目 采购方要求值 应答方保证值 *电子枪类型 高亮高相干性电子枪，束流、信号、长期稳定性不低于冷场发射电子枪 电子枪亮度 ≥3.3*10 7 A/m 2 /sr/V *TEM 线分辨率 ≤50 pm@300kV *STEM分辨率 ≤53 pm@300kV 能量分辨率 ≤0.35 eV *加速电压 40-300 kV #加速电压切换稳定时间 ≤15 min *高压合轴 60/80、200、300 kV #束斑漂移 ≤0.5 nm/min *聚光镜像差校正器 校正至A5阶 *物镜像差校正器 校正至A5阶 STEM高分辨自动优化软件 自动修正残余像差 物镜 采用恒功率透镜设计或Enoaqua循环水方式，实现透镜控温精度、有效束流。 光阑系统 物镜光阑孔数目 ≥8个 选区光阑孔数目 ≥4个 挡针 配备全自动挡针 洛伦兹模式 TEM/STEM两个模式 #物镜极靴间距 适配于目前商用电镜样品杆 *STEM探测器附加探头功能 ≥16分割 STEM探测器成像模式 HAADF、BF、ABF、DF、ADF STEM模式图像像素 最大图像分辨率≥4096×4096 像素（1600 万像素），支持 2048×2048、1024×1024 等多档像素可选 双倾样品杆倾转角度 ≥± 30°(a) / ± 29° (b) 三维重构样品杆最大倾转角度 ≥±70° 样品移动范围 ≥X/Y：±1 mm；Z: ±0.200 mm 样品漂移速率 ≤0.5 nm/min *一体化快速 CMOS相机 30-300kV电压，4,096×4,096像素，40 fps @ 4k*4k和300 fps @ 512*512读取速度 相机读取模式 具备原位模式 原位实验记录 支持20s缓存记忆功能 能谱分析模块 能谱仪探测器数量 ≥2个 *能谱仪探测器晶体面积 ≥600 mm 2 （不低于JED-2300T 158mm 2 双探头） 能谱图像分辨率 4k x 4k *能谱仪探测器能量分辨率 ≤136 eV (Mn-Kα) 能谱仪探测器最大输出计数率 ≥ 600 kcps 能量损失谱模块 能量过滤器电子能量损失谱 功能包括能量过滤透射电镜成像（Energy Filtered TEM）和电子能量损失谱（EELS）分析。通过能量过滤，提高成像质量，尤其厚试样和断层成像（Tomography）的图像质量，