公告正文
按原文分段一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：HNXH-2026-125 原公告的采购项目名称：AI智能体验馆采购项目 首次公告日期：2026年07月29日
二、更正信息
更正事项：采购文件 更正原因： 对原磋商文件《第三章 采购需求》技术和服务要求中的技术参数进行变更 更正内容
一、总体概述与核心特点
1 台 本系统为芯片教学专用一站式微纳加工实训平台，覆盖芯片从设计到成品的全流程制程，还原标准半导体制程步骤，操作安全可控、工艺可复现，适配各学段相关专业教学实训需求。 ★
二、核心模块与技术参数
1.IC设计模块：配备专用电脑，支持EDA电路设计、掩膜版版图绘制。 ★ 2.清洗模块： ★ （ 1）喷射式湿法清洗，去除衬底表面油渍、颗粒等污染物。 ★ （ 2）提供清洗模块的检测报告。 ★ 3.匀胶模块： ★ （ 1）配有真空吸盘，负压吸附衬底，精准旋涂光刻胶形成高质量的薄膜。 ★ （ 2）提供匀胶模块的检测报告。 ▲ 4.烘焙模块： ★ （ 1）程控加热，完成衬底前烘、后烘等热处理。 ★ （ 2）提供烘焙模块的检测报告。 ▲ 5.光刻模块： ★ （ 1）含对准、曝光子模块，365nm紫外光源，最小分辨力≤3μm，对准精度±0.05mm，实现设计图案精准转移。 ★ （ 2）提供光刻模块的检测报告。 ▲ 6.显影/刻蚀模块： ★ （ 1）一体化设计，满足湿法显影、刻蚀工艺需求。 ★ （ 2）提供显影/刻蚀模块的检测报告。 ▲ 7.掺杂模块： ★ （ 1）完成硅片掺杂处理，调控半导体电学性能。 ★ （ 2）提供掺杂模块的检测报告。 ▲ 8.显微观测模块：不小于1-120倍显微观察，可对工艺结果检测与分析。 ★ 9.手持气枪：用于衬底表面残液、粉尘，辅助清洁。 ★ 10.安全黄光系统： ★ （ 1）光刻专用黄光安全空间，配套独立进排风系统，保障工艺环境与操作安全。 ★ （ 2）提供安全黄光系统的检测报告。 ▲ 以上要求提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有 CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 ★ 现变更为： 1. 1 教学用芯片光刻机
一、总体概述与核心特点
1 台 本系统为芯片教学专用一站式微纳加工实训平台，覆盖芯片从设计到成品的全流程制程，还原标准半导体制程步骤，操作安全可控、工艺可复现，适配各学段相关专业教学实训需求。 ★
二、核心模块与技术参数
1.IC设计模块：配备专用电脑，支持EDA电路设计、掩膜版版图绘制。 ★ 2.清洗模块： ★ （ 1）喷射式湿法清洗，去除衬底表面油渍、颗粒等污染物。 ★ 3.匀胶模块： ★ （ 1）配有真空吸盘，负压吸附衬底，精准旋涂光刻胶形成高质量的薄膜。 ★ （ 2）提供匀胶模块的检测报告。提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 ▲ 4.烘焙模块： ★ （ 1）程控加热，完成衬底前烘、后烘等热处理。 ★ （ 2）提供烘焙模块的检测报告。提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 ▲ 5.光刻模块： ★ （ 1）含对准、曝光子模块，365nm紫外光源，最小分辨力≤3μm，对准精度±0.05mm，实现设计图案精准转移。 ★ （ 2）提供光刻模块的检测报告。提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 ▲ 6.显影/刻蚀模块： ★ （ 1）一体化设计，满足湿法显影、刻蚀工艺需求。 ★ （ 2）提供显影/刻蚀模块的检测报告。提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 ▲ 7.掺杂模块： ★ （ 1）完成硅片掺杂处理，调控半导体电学性能。 ★ （ 2）提供掺杂模块的检测报告。提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 ▲ 8.显微观测模块：不小于1-120倍显微观察，可对工艺结果检测与分析。 ★ 9.手持气枪：用于衬底表面残液、粉尘，辅助清洁。 ★ 10.安全黄光系统： ★ （ 1）光刻专用黄光安全空间，配套独立进排风系统，保障工艺环境与操作安全。 ★ （ 2）提供安全黄光系统的检测报告。提供的检测报告，投标人须提供第三方检测机构出具的具有CNAS标识的检验(测)报告复印件，或提供由具备相应能力的检测机构出具的检测报告复印件。 ▲ 其他内容不变 更正日期： 2026年08月04日
三、其他补充事项
其他内容不变， 开标时间不变， 请各潜在供应商请以最新下载的竞争性磋商文件的内容为准！
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息 名称： 海南省国兴中学 地址： 海口市琼山区府城镇城南路299号 联系方式： 65922680 2.采购代理机构信息 名称： 海南鑫河项目管理有限公司 地址： 海南省海口市美兰区盛达景都三期4栋2101房 联系方式： 0898-65335692 3.项目联系方式 项目联系人： 孟祥伟 电话： 0898-65335692 海南鑫河项目管理有限公司 2026年08月04日 相关附件： AI智能体验馆采购项目（HNXH-2026-12520260804002）-文件集.zip